Axcelis Technologies Inc设计、制造和服务离子注入及其他用于半导体芯片制造的加工设备。该公司提供完整系列的高能、高电流和中电流注入机,可满足所有应用要求。除设备外,公司还提供广泛的售后生命周期产品和服务,包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。其Purion旗舰系统均基于一个通用平台,可实现种植体纯度、精度和生产率的结合。Purion产品将单个晶圆端站与先进的点光束架构(确保晶圆上的所有点都以相同的光束角度看到相同的光束条件)相结合,使过程控制能够以高生产率优化设备性能和产量。该公司向世界各地的半导体芯片制造商销售其产品。
名称 | 标题 | 任期 | 年龄 |
|---|---|---|---|
| Jorge Luis Titinger | Independent Chairman | 2024 | 65 |
| Russell J. Low | CEO, President & Director | 2023 | 55 |
| John T. Kurtzweil | Independent Director | 2015 | 70 |
| Jeanne Quirk | Independent Director | 2022 | 55 |
| Gregory B. Graves | Director | 2024 | 65 |
| Thomas St. Dennis | Independent Director | 2015 | 72 |
| Tzu-Yin Chiu | Independent Director | 2018 | 70 |
| Necip Sayiner | Director | 2024 | 60 |